1、清洗對象經(jīng)等離子清洗之后是干燥的，不需要再經(jīng)干燥處理即可送往下一道工序，可以提高整個工藝流水線的處理效率；
2、等離子清洗使得用戶可以遠離有害溶劑對人體的傷害，同時也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對象的問題；
3、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑，在等離子清潔后不會產(chǎn)生有害污染物，因此這種清洗方法屬于綠色環(huán)保型清洗方法；
4、采用無線電波范圍的高頻產(chǎn)生的等離子體與激光等直射光線不同，等離子體的方向性不強，這使得它可以深入到物體的微細孔眼和凹陷的內(nèi)部完成清洗任務(wù)，因此不需要過多考慮被清洗物體的形狀，而且對這些難清洗部位的清洗效果相對于傳統(tǒng)氟利昂清洗的效果會更好；
5、等離子清洗機可以有效提高清洗效率，整個清洗流程在短短的幾分鐘內(nèi)即可完成，因此具有產(chǎn)率高的特點；
6、等離子清洗需要控制的真空度大約為100Pa，這種清洗條件很容易達到，因此這種裝置的設(shè)備成本不高，加上清洗過程不需要使用價格較為昂貴的有機溶劑，這使得整體成本要低于傳統(tǒng)的濕法清洗工藝；
7、使用等離子清洗，避免了對清洗液的運輸、存儲、排放等處理措施，所以生產(chǎn)場地很容易保持清潔衛(wèi)生；
8、等離子體清洗機可以不分處理對象，它可以處理各種各樣的材質(zhì)，無論是金屬、半導(dǎo)體、氧化物，還是高分子材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環(huán)氧樹脂等高聚物）都可以使用等離子體來處理，因此特別適合于不耐熱以及不耐溶劑的材質(zhì)，而且還可以有選擇地對材料的整體、局部或復(fù)雜結(jié)構(gòu)進行部分清洗；
9、在完成清洗去污的同時，還可以改善材料本身的表面性能，如提高表面的潤濕性能、改善膜的黏著力等，這在許多應(yīng)用中都是非常重要的。

等離子清洗機的作用
金屬器材表面附著有油脂、油污等有機物和氧化層，在進行濺射、油漆、粘合、焊接、銅焊和PVD、CVD涂覆前，通過等離子清洗機處理可以獲得潔凈和無氧化層的表面。等離子清洗可以除去器材表面細小的油膜、銹跡或其他油類污物，而且在等離子清洗后，不會在器材表面留下殘余物。