上海燊碩機(jī)電科技有限公司專為部分客戶研發(fā)而設(shè)計(jì)的全功能等離子清洗設(shè)備系統(tǒng)，13.56MHz射頻發(fā)生器和自動(dòng)匹配網(wǎng)絡(luò)電源在整個(gè)過程區(qū)域產(chǎn)生均勻的等離子體。我們的等離子清洗機(jī)的真空腔可支持達(dá)7個(gè)可調(diào)節(jié)樣品架，以容納各種形狀尺寸的樣品。燊碩等離子清洗機(jī)具有多種電極設(shè)置，可配置成RIE和PECVD模式，從而擴(kuò)大了該系統(tǒng)的應(yīng)用范圍，提供給用戶無(wú)與倫比的靈活性。
燊碩等離子清洗機(jī)是面向大半導(dǎo)體市場(chǎng)工業(yè)級(jí)客戶與研發(fā)型客戶使用需求設(shè)計(jì)的等離子處理設(shè)備，適用于等離子清洗、活化以及刻蝕等多種應(yīng)用。設(shè)備可在嚴(yán)苛環(huán)境下穩(wěn)定運(yùn)行，獲得高度均一化的處理效果。
光刻膠去除——去除表面殘膠，形成清潔、活化的表面。
密封前處理——經(jīng)由等離子活化樣品表面，提升塑封料的結(jié)合力，減少分層、空洞等不良的產(chǎn)生。
金屬鍵合前處理——通過等離子處理去除焊盤表面的金屬氧化層，提升后續(xù)鍵合工藝的良率和結(jié)合力。
底部填充前處理——等離子活化提升膠體在表面的流動(dòng)性，消除空洞與起泡，增強(qiáng)填充效果。
表面粗化與微蝕——消除表面盈利，使材料更易結(jié)合。